“洛阳硅片”助力“中国芯”加速崛起 洛阳自创区建设五周年创新发展巡礼系列报道

2021-6-6 19:37| 发布者: admin| 查看: 43588| 评论: 0|来自: 壤金网

摘要:  日前,在洛阳单晶硅集团麦斯克电子材料有限公司超净车间里,伴随着轻微的机械传动声,一块块光滑如镜的银灰色硅抛光片正在自动化设备上接受检测。  曾诞生中国首条单晶硅生产线的洛单集团,如今在中国电子产业升 ...

 日前,在洛阳单晶硅集团麦斯克电子材料有限公司超净车间里,伴随着轻微的机械传动声,一块块光滑如镜的银灰色硅抛光片正在自动化设备上接受检测。

  曾诞生中国首条单晶硅生产线的洛单集团,如今在中国电子产业升级大潮中有了新担当。和一年前这条生产线上检测的产品全部为4英寸、5英寸、6英寸硅抛光片不同,目前这家企业更多生产的是曾为国产化空白的高新技术产品——8英寸硅抛光片。

  从汽车、飞机到计算机、手机,现代工业、消费电子设备都离不开芯片等集成电路产品。作为重要的硅衬底基础材料,硅抛光片是芯片等产品不可或缺的上游原材料。

  麦斯克公司副总经理焦二强介绍,在生产中,单晶硅棒经切割、研磨、抛光等工艺后成为硅抛光片,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸等规格。直径越大,意味着下游生产材料利用率越高,对其本身材料和技术的要求也越高。

  近年,我国硅抛光片制造工艺取得较大进步。然而,高附加值的 8 英寸和 12 英寸硅抛光片绝大多数依然依赖进口,严重影响我国芯片产业竞争力和供应链安全。

  洛单集团在4英寸至6英寸的小尺寸硅抛光片领域竞争力居世界前列,相关产品在国内市场的占有率在35%以上。围绕国家集成电路产业转型升级的迫切需求,2017年,该企业投资建设了年产36万片8英寸硅抛光片项目,以此为依托的“8寸晶圆技术研究及产业化”项目被列入郑洛新自创区产业集群专项。

  “直径虽然只大了2英寸,却意味着全新的结晶工艺。研发过程就像‘摸着石头过河’,难度可想而知。”焦二强说。

  在研发过程中,该企业独立完成了热场进行设计改造,突破了边缘剥离技术、纯水慢提拉干燥技术等,申请了包括3项发明专利在内的16项国家专利,背封膜均匀性、硅片平整度、表面微粗糙度等指标达到世界一流水平!

  如今,走进洛单集团生产一线,员工们更多谈论的是如何精益求精做好每一片8英寸硅抛光片生产,让企业效益跃上新台阶。目前,该企业已完成4大类20个规格8英寸硅抛光片的研发和量产,为9家客户提供了23批次的认证片。产品不仅替代进口,满足了国内需求,还销往英国等国家,走向了国际市场。

  下一步,该企业将加大8英寸硅抛光片市场推广力度,持续推进更加高端的12英寸硅抛光片研发,以高可靠的材料供应助力中国集成电路产业转型升级,迈向高质量发展。

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